超短パルスレーザ加工
微細溝加工
金属加工
銅
銅パイプへの超微細溝加工
銅パイプ側面へ微細な溝加工。レーザ加工が難しい銅に対しても超短パルスレーザで微細な加工が可能です。熱影響が全くないシャープなエッジの溝形成ができます。
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超短パルスレーザ加工
微細溝加工
金属加工
銅
銅パイプ側面へ微細な溝加工。レーザ加工が難しい銅に対しても超短パルスレーザで微細な加工が可能です。熱影響が全くないシャープなエッジの溝形成ができます。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
銅
幅15µmの微細溝を銅の表面に加工しました。超短パルスレーザを用いると非常にシャープな溝を掘ることができます。
超短パルスレーザ加工
スリット加工
金属加工
金属箔
金属箔に幅50µmの微細スリットを正確に加工。ピコ秒レーザを用いると熱影響なく正確な加工ができます。
超短パルスレーザ加工
膜除去
金属加工
金属膜
厚さ1µmの金属膜を正確にエッチングしています。基材には影響を与えず、膜のみを選択的に除去しています。
超短パルスレーザ加工
スリット加工
金属加工
チタン
厚さ0.4mmのチタン箔への精密スリット加工です。幅60µmの微細スリットを超短パルスレーザで加工してあります。
超短パルスレーザ加工
突起加工
ガラス・セラミック加工
SiC
超短パルスレーザを用いると立体的な形状を超精密に加工することができます。写真のように、微細な突起形状を高精度に加工できています。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
真鍮
真鍮パイプ(直径φ1.4mm)側面へ直径40µmの微細な穴加工。非熱加工により、きれいな穴形状を実現。
超短パルスレーザ加工
スリット加工
金属加工
チタン
厚さ0.2mmのチタンへ幅20µmの微細スリットを加工しました。熱影響がなく、精密なスリットを形成できています。
超短パルスレーザ加工
堀込加工
金属加工
ステンレス
金属表面をきわめて薄く除去加工しました。深さはサブミクロンオーダーで制御できます。加工後は金属光沢を有しています。
超短パルスレーザ加工
回折格子加工
金属加工
ステンレス
超短パルスレーザは、微細な加工ができるため、光学機器で利用される回折格子を作ることができます。ドライ環境で完結できますので、短納期、低環境負荷の新しいプロセスです。
超短パルスレーザ加工
回折格子加工
金属加工
ステンレス
レーザによる回折格子加工。L/S=20µm、深さ7µmで疑似的な回折格子を構成しています。細い溝を深く加工できることがレーザの特長です。
超短パルスレーザ加工
堀込加工
深堀加工
金属加工
ステンレス
傾斜を制御しながら微細な表面除去加工を実施。最も深い箇所で16µmです。800µm角の領域に傾斜をつけた加工ができています。
超短パルスレーザ加工
切断
金属加工
モリブデン
厚さt0.1mmのモリブデンを超精密に切断。熱影響なくメッシュ構造が構築されています。
超短パルスレーザ加工
切断
金属加工
モリブデン
厚さ0.2mmのモリブデンに0.1mm幅のフィルタ形成。超短パルスレーザを用いると、狭い部分も正確に残した加工ができます。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
ステンレス
金属への微細な溝加工を実施。形状を維持したまま精密な加工ができます。工具や金型への応用もあります。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ジルコニア
幅16µmの精密な溝をジルコニアに加工。材料を問わず加工できる点がレーザの魅力です。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
モリブデン
モリブデン箔へザグリ加工。その中に直径φ10µmの微細穴加工。
超短パルスレーザ加工
穴加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
ガラスへも割れなく加工ができます。真円度の高い穴加工を実現しています。超短パルスレーザの長所を活かした加工です。