主に外観検査となります。デジタルマイクロスコープ、レーザ顕微鏡、干渉計にて穴の形状や表面粗さ、溝の深さなど幾何形状を測定いたします。また、走査型電子顕微鏡による超精密観察や、EDSによる元素分析にも対応します。実体顕微鏡による目視検査もできます。さらに、非接触温度計にて加工中の温度の測定もできます。