非接触加工のため、材料に余分な力が加わらず、変形や歪みが少ない加工ができます。また、レーザでも非熱加工で熱の影響も極小です。このため、数ミクロン単位の超高精度な加工が可能です。さらに、金型等を使用せずデータ変更で加工内容を変更でき、加工速度も速いので、多品種少量でも効率的な生産が可能です。試作から量産まで幅広く対応できることがレーザ微細加工のメリットです。