Q.基板材料に表面改質を施すことは可能ですか? レーザアニールの工法で可能です。レーザアニールは、レーザ光を用いて半導体や薄膜の表面を加熱し、結晶構造を整えたり、不純物を活性化させたりするプロセスです。このプロセスは、集積回路やディスプレイなどの電子デバイスの製造において重要な役割を果たしています。 レーザ光を吸収することで、急速加熱が生じ、この加熱により物質の結晶構造が再結晶化されたり、不純物が活性化されたりします。この結果、物質の電気的・光学的特性が改善され、デバイス性能が向上します。