超短パルスレーザ加工 USP Laser Processing Si 止穴加工 詳細 DETAIL 属性 ガラス・セラミック加工 材料名 Si 加工種類 止穴加工 加工方法止穴加工 直径φ50µmの止穴加工をSi基板上に実施。超短パルスレーザを用いると割れやすい材料へも加工が可能です。 関連キーワード KEYWORD Si 止穴加工 精密