概要 近年、スマートフォンやパソコン、AIチップなどの性能向上が目覚ましく、その進化を支えているのが「半導体技術」です。半導体の微細化は年々進んでおり、それを可能にしている最先端の技術の一つが「EUVリソグラフィ（Ext […]
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【技術】精密自動ステージ
概要 精密自動ステージは、試料や光学素子（レンズ、ミラー、ビームスプリッターなど）をナノ〜マイクロメートル精度で移動させるための機構です。特に光学系やレーザー計測系では、位置合わせや走査、調整において欠かせない要素です。 […]
