超短パルスレーザ加工
スリット加工
金属加工
金属箔
金属箔 スリット加工
金属箔に幅50µmの微細スリットを正確に加工。ピコ秒レーザを用いると熱影響なく正確な加工ができます。
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超短パルスレーザ加工
スリット加工
金属加工
金属箔
金属箔に幅50µmの微細スリットを正確に加工。ピコ秒レーザを用いると熱影響なく正確な加工ができます。
超短パルスレーザ加工
切断
金属加工
モリブデン
厚さt0.1mmのモリブデンを超精密に切断。熱影響なくメッシュ構造が構築されています。
超短パルスレーザ加工
切断
金属加工
ステンレス
厚さ15µmのステンレス箔を精密に切断。削りしろは10µm程度と非常に少ないです。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
ステンレス
細いパイプにも、深さ40µmの微細穴を精密に加工。異形状でも精密な穴加工ができています。医療器具応用です。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
割れやすいガラスに幅170µm、深さ80µmの溝加工。幅、深さとも一定の安定した加工ができています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
ガラス表面を幅3µm、深さ1µmで微細な溝加工。半導体用途での応用がされています。
超短パルスレーザ加工
膜除去
金属加工
金属膜
厚さ1µmの金属膜を正確にエッチングしています。基材には影響を与えず、膜のみを選択的に除去しています。
超短パルスレーザ加工
止穴加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
石英ガラスに止め穴加工。深さ0.4mmと深く加工してもクラックがなく高精度に加工ができています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
ガラスウエハに微細溝加工。大面積へも高速に加工ができます。バイオ研究や半導体用途へ応用されています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
ガラスに深さ0.5mmの深彫り加工。クラックなく深い加工ができています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
割れやすいガラスにもクラックがなく安定して深さ40µmのチャネルが形成されています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
石英ガラスに突起形状をレーザにて作成。200µm以上の深い突起形状が高精度に加工できています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
金
セラミック上の金メッキの除去加工。異種材料であっても、必要な箇所のみを正確に加工できます。セラミックにはダメージがありません。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
ステンレス
ステンレスへの微細溝形成。円筒部材に対しても深さ一定での加工ができます。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
白金イリジウム
白金イリジウム表面へ深さ7µmの微細溝加工。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
ステンレス
金属表面へ、微細な周期構造を加工。深さは43µmで安定した加工ができています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
ステンレス
金属への微細な溝加工を実施。形状を維持したまま精密な加工ができます。工具や金型への応用もあります。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
ステンレス
厚さ0.5mm部へ直径φ100µmの微細穴加工。超短パルスレーザを用いて、立体形状にも熱ひずみなく精密な加工ができています。