超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
真鍮
真鍮パイプの穴加工
真鍮パイプ（直径φ1.4mm）側面へ直径40µmの微細な穴加工。非熱加工により、きれいな穴形状を実現。
超微細
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超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
真鍮
真鍮パイプ（直径φ1.4mm）側面へ直径40µmの微細な穴加工。非熱加工により、きれいな穴形状を実現。
超短パルスレーザ加工
スリット加工
金属加工
ステンレス
厚さt0.1mmのステンレス箔へ幅3µmの超微細スリット加工
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
割れやすいガラスに幅170µm、深さ80µmの溝加工。幅、深さとも一定の安定した加工ができています。
超短パルスレーザ加工
溝加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
ガラス表面を幅3µm、深さ1µmで微細な溝加工。半導体用途での応用がされています。