超短パルスレーザ加工
微細溝加工
金属加工
銅
銅パイプへの超微細溝加工
銅パイプ側面へ微細な溝加工。レーザ加工が難しい銅に対しても超短パルスレーザで微細な加工が可能です。熱影響が全くないシャープなエッジの溝形成ができます。

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超短パルスレーザ加工
微細溝加工
金属加工
銅
銅パイプ側面へ微細な溝加工。レーザ加工が難しい銅に対しても超短パルスレーザで微細な加工が可能です。熱影響が全くないシャープなエッジの溝形成ができます。
超短パルスレーザ加工
レーザクリーニング
金属加工
銅
銅の表面の酸化膜をレーザにて除去できます。レーザクリーニングは、高速に微細な領域の不要な膜を除去する技術です。薄膜の選択的な除去にも応用できます。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
真鍮
真鍮パイプ(直径φ1.4mm)側面への深溝加工。幅30µm、深さ100µmの高アスペクト比の溝をレーザ加工。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
真鍮
直径φ1.4mm真鍮パイプの表面にマイクロメータオーダーの浅い溝を形成。微細な領域へ確実に加工ができます。局所的な加工にレーザは最適です。
超短パルスレーザ加工
深堀加工
金属加工
銅
銅の表面に170µm角の穴を掘り、底部に10µmピッチの溝を形成しています。超短パルスレーザをつかうと、このような微細加工を実施できます。
超短パルスレーザ加工
堀込加工
深堀加工
金属加工
銅
銅の深彫加工です。熱影響を与えることなく、深く穴をあけています。表面のクリーニングも合わせて行うことができます。
超短パルスレーザ加工
深堀加工
金属加工
銅
反射率の高い銅の加工に対しても超短パルスレーザは有効です。mmオーダーの深い穴も平面を維持したまま加工することが可能です。
超短パルスレーザ加工
回折格子加工
金属加工
ステンレス
レーザによる回折格子加工。L/S=20µm、深さ7µmで疑似的な回折格子を構成しています。細い溝を深く加工できることがレーザの特長です。
超短パルスレーザ加工
回折格子加工
金属加工
ステンレス
超短パルスレーザは、微細な加工ができるため、光学機器で利用される回折格子を作ることができます。ドライ環境で完結できますので、短納期、低環境負荷の新しいプロセスです。
超短パルスレーザ加工
堀込加工
深堀加工
金属加工
ステンレス
傾斜を制御しながら微細な表面除去加工を実施。最も深い箇所で16µmです。800µm角の領域に傾斜をつけた加工ができています。
超短パルスレーザ加工
堀込加工
金属加工
ステンレス
金属表面をきわめて薄く除去加工しました。深さはサブミクロンオーダーで制御できます。加工後は金属光沢を有しています。
超短パルスレーザ加工
突起加工
ガラス・セラミック加工
SiC
超短パルスレーザを用いると立体的な形状を超精密に加工することができます。写真のように、微細な突起形状を高精度に加工できています。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
ステンレス
細いパイプにも、深さ40µmの微細穴を精密に加工。異形状でも精密な穴加工ができています。医療器具応用です。
超短パルスレーザ加工
止穴加工
ガラス・セラミック加工
ガラス
石英ガラスに止め穴加工。深さ0.4mmと深く加工してもクラックがなく高精度に加工ができています。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
Ta
厚さ0.1mmのタンタル箔に直径φ12µmの超微細穴を多数加工。超短パルスレーザを使うと微細穴を高速に多数加工できます。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
ステンレス
直径φ50µmの穴をステンレス板に6000個加工してあります。フィルターへの応用です。
超短パルスレーザ加工
穴加工
金属加工
ステンレス
直径φ15µmの超微細穴を厚さt0.1mmのSUS304板に加工。
超短パルスレーザ加工
溝加工
金属加工
インジウム燐
半導体材料であるInPに幅20µmの溝加工。