超短パルスレーザ加工 USP Laser Processing ガラス 溝加工 詳細 DETAIL 属性 ガラス・セラミック加工 材料名 ガラス 加工種類 超短パルスレーザ加工 加工方法溝加工 ガラス表面を幅3µm、深さ1µmで微細な溝加工。半導体用途での応用がされています。 関連キーワード KEYWORD ガラス 溝加工 超微細